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2021-09-27  点击量:

本文摘要:据报,英国光电子技术解决方案的领先开发商PlesseySemiconductor日前回应,已从晶圆键合和光刻设备生产商EVG出售了GEMINI晶圆键合系统。

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据报,英国光电子技术解决方案的领先开发商PlesseySemiconductor日前回应,已从晶圆键合和光刻设备生产商EVG出售了GEMINI晶圆键合系统。该公司计划用于该系统不断扩大其GaN-on-SiMicroLED的生产。

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Plessey回应,GEMINI生产晶圆键合系统将在Plessey坐落于英国普利茅斯的生产工厂进行黏合和校准的工作。与此同时,该系统还可将其GaN-on-SiMicroLED阵列与晶圆级背板紧密结合,具备大于像素尺寸所需的高对准精度。EVG回应,其取得专利的SmartViewreg;NT自动键合对准系统技术可实现晶圆的正面对准,具备极高的精度。此外,其GEMINI自动化生产晶圆键合系统构建了最低水平的自动化和流程构建。

该全自动平台可实现晶圆到晶圆对准以及获取高达300mm的晶圆键合工艺,限于于批量生产。


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